| 品牌：瑞亿斯 | 是否进口：否 | 产地：北京 |
| 加工定制：是 | 型号：RTP-300 | 最大电压：380VV |
| 功率：2000WW | 额定温度：1200℃℃ | 主要用途：半导体芯片退火 |
| 产品特性：快速退火 |
北京瑞亿斯RTP-300快速热处理设备 快速退火炉 怎么操作说明使用哪里购买
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1. 用途
快速热处理技术（RTP）是近年来发展很快的半导体工艺新
技术。该设备具有升温速度快、密封好、温度范围宽、使用方
便等特点。可用于硅及化合物半导体材料离子注入后的退火，
硅化物的形成，欧姆接触制备以及快速氧化，快速氮化等方面。
2 2. . 主 要 技 术 参 数 数 据
2.1 温度 范围 ： 150℃ ～ 1300℃ 。 建议 使用 温度 范围
150℃～1250℃。
2.2 升温速率：100～200℃/s
2.3 密封石英盒内面尺寸：210×140×14
2.4 微机控制器：时间设定范围：0.1～999 秒，精度 0.1
秒，程序段 8 个,独立可调。
2.5 数字式温度计：显示位数：3 位半，分辨率 1℃，精度
0.5% FS±1℃，测量范围：0～1300℃。
2.6 温度稳定性：±3℃
2.7 光源：1.25KW×13 卤钨灯
2.8 电源：输入 3N、380V、30A
3 3. . 工 作 原 理 及 结 构
3.1 原理简述：
在聚光腔内的卤钨灯产生的光辐照，通过石英盒照射到样
品上。由于样品是聚光腔内的光吸收体，腔内的光线大部
分被样品所吸收，使样品温度快速升高。测温热电偶测出温度
信号，经线性化和放大后 ，送入比较电路与微机控制器输出的
信号比较。比较电路输出的信号控制可控硅的导通角，从而改
变灯电流的大小，实现温度的闭环控制。
3.2 快速退火炉结构
上下前后四块反光板均为水冷，以保持良好的温度
稳定性和较快的降温速度。石英盒为密封结构，盒后部有
一个气嘴，可通往保护气体。盒前部与垫板之间用 704 硅胶封
结。以良好的密封性能。垫板侧面有一个气嘴，与排气管
相连。垫板用螺钉固定在前反光板上。石英盒后端有两个带弹
簧的顶钉压紧。石英盒内部的后部放有一石英挡条，使保护气
体气流均匀。前盖上装有石英样品架和测温热电偶。热电偶经
过氧化处理，其表面吸收系数与硅片相近。前盖装有“O”型密
封圈，其密封。前盖装在导柱上可以前后滑动。装片时拉
出来，退火时推进去。石英盒上面装有 6 支卤钨灯。下面装有 7
支卤钨灯。每支灯上串有 1 欧姆电阻。其作用是减小启动时的
冲击电流及电流取样。退火炉两侧装有风扇，给卤钨灯及石英
盒强制风冷。退火炉面板左侧装有 N 2 流量计，可调节和监视保
护气体的流量。面板右侧有两排发光二极管。用来监视每支卤
钨灯的电流。
3.3 电源
该设备电源由双向可控硅调压电路，线性化电路，温度显
示电路，微机可编程控制器，比较电路等几部分组成。
由热电偶输出的信号，通过面板上的插座输入线性电路，
转换成与温度成线性关系的电压信号，一部分送入温度显示电
路，直接显示出温度值，另一部分经放大送入比较电路，与微
机控制器输出的信号比较。比较电路输出的信号控制可控硅的
导通角，实现闭环温度控制。可控硅调压电路共分为 6 路，第
一路控制三支卤钨灯，其余的控制两支卤钨灯，每一组的灯电
流都是独立可调的。可用来调整样品纵向的温度均匀性。
三相电源的空气开关安装后面板上，保险管在电源箱内的
安装板上。从面板上 A B C 三相指示灯上可看出保险是否断开，
是否缺相。
退火炉后面板上装有水压开关，如果冷却水没接通，水压
开关断开，电源面板上绿色冷却水指示灯不亮，可控硅不会导
通。
微机控制器有八位单片机及接口电路组成。控制器有八个
程序段，每段的时间由键盘设定。温度由每段对应的多圈电位
器设定。键盘上共 16 个键，其中 10 个（0～9）为数字建，5
个为功能建，一个空白建，下面分别介绍 5 个功能键的作用。
1)复位键：它的作用是转换工作状态，即输入（IN）状态
转换为运行状态（即 b 状态），或从运行状态转为输入状态。
它的另一个作用是手动中断正在进行的程序。
2) IN 键：它的功能是设定和检查段号和每段时间。每按动
一次,在显示板上则按照：程序段号→本段设定时间→下一段号
→下一段设定时间的顺序走。（从低段到高段走）
3) Last 键：功能与 IN 相似。只是每按一次按高段到低段的
顺序走。
4)“清零”键：在“IN”状态按 2 秒钟后，以前设定所有数
据全部清零。
5)“启动”键：显示板上显示 b 或 End 时，按动此键控制器
即可开始运行。
电源面板左侧的钥匙开关是控制系统及风扇的电源开关。
红色的按钮风扇开关是退火炉两侧的风扇开关，一般情况应按
下。工作方式选择开关有两档：准备（STAND BY），运行（RUN）.
当“准备”开关按下时，微机控制电路与可控硅调压电路断开，
可控硅不会导通。当微机控制器输入数据或电源停止工作时，
开关应放在此状态。电源运行时，工作方式选择开关应放在“运
行”档，再按一下微机控制器上的“启动”按钮即可开始工作。
面板上的输入插座是热电偶信号的输入端。输出插座是热
电偶信号经过线性化和放大后的输出。可供给记录仪或其它仪
器。
面板上的上限（UPPER LIMIT）调节多圈电位器有二个作用：
一是限制温度上限，是温度不超过预定值。二是提高温度
的稳定性和重复性。
主要技术数据
2.1温度范围：150℃～1300℃。建议使用温度范围150℃～1250℃。
2.2升温速率：100～200℃/s
2.3密封石英盒内面尺寸：210×140×14
2.4微机控制器：时间设定范围：0.1～999秒，精度0.1秒，程序段8个,独立可调。
2.5数字式温度计：显示位数：3位半，分辨率1℃，精度0.5% FS±1℃，测量范围：0～1300℃。
2.6温度稳定性：±3℃
2.7光源：1.25KW×13卤钨灯
2.8电源：输入3N、380V、30A
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Beijing Ruiyisi Technology Co.,LTD
